11月4日，陜西光電子先導院宣布其建設的8英寸先進硅光集成技術創(chuàng)新平臺正式通線。這是西北地區(qū)首條硅光中試線，將為國內光子產業(yè)各類創(chuàng)新主體提供多種類型光電、硅光芯片的研發(fā)和中試服務，為陜西光子產業(yè)延鏈補鏈提供有力支撐。

　　光子技術是新一輪科技革命的引領性技術。2021年，陜西立足自身優(yōu)勢，前瞻布局，在國內率先發(fā)布“追光計劃”，推動光子產業(yè)集群快速壯大。4年來，陜西光子產業(yè)實現(xiàn)跨越式成長，企業(yè)數(shù)量攀升至370多家，產業(yè)規(guī)模從150億元躍升至365億元，初步構建起“材料—芯片—器件—系統(tǒng)”的完整產業(yè)鏈條。

　　“硅光技術是AI算力、智能駕駛、量子通信等前沿領域的核心支撐。”陜西光電子先導院總經理楊軍紅說，全球硅光中試資源大多掌握在歐美企業(yè)手中。國內企業(yè)依托國外平臺流片要支付高昂費用，且面臨流片周期長、產能優(yōu)先供給受限等問題。自建產線則要巨額投入，這讓中小企業(yè)和科研團隊望而卻步。

　　為破解這一困境，2023年，陜西光電子先導院總投資7.5億元啟動建設8英寸先進硅光集成技術創(chuàng)新平臺，引進比利時IMEC“130nm硅光芯片工藝包”，并引入光刻、刻蝕等60多臺(套)關鍵核心設備，構建起自主可控的先進工藝體系。

　　“在陜西進行中試，排隊時間短、效率高，速度比在國外快5倍以上。”深圳瑞識智能科技有限公司董事長汪洋說。

　　“8英寸先進硅光集成技術創(chuàng)新平臺通線彌補了陜西在硅光芯片中試領域的短板。未來，該平臺將加速應用于人工智能、光通信、光計算、低空飛行、醫(yī)療健康等領域產品的迭代進程。”楊軍紅介紹，8英寸先進硅光集成技術創(chuàng)新平臺已與10余家頭部企業(yè)達成意向合作協(xié)議，并吸引多家外地企業(yè)聚集陜西。

　　楊軍紅說：“我們將發(fā)揮國家級光電子集成產業(yè)中試平臺優(yōu)勢，積極構建‘化合物半導體+硅光+異質異構集成’三位一體的平臺架構，實現(xiàn)從材料生長、芯片制程、器件封裝到系統(tǒng)測試的全鏈條覆蓋，助力陜西建設光子產業(yè)高地。”

　　(記者 蘇怡 田若楠)